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磁控濺射

磁控濺射

產品簡介: 磁控濺射原理:電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜
  • 咨詢熱線:135 3425 7051

產品詳細描述

磁控濺射原理:電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響,被束縛在靠近靶面的等離子體區域內,該區域內等離子體密度很高,二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動,該電子的運動路徑很長。

耀達發精密專業提供磁控濺射掩膜版,具體多種設計制造經驗,服務于眾多國內高校及中科院所屬單位。

磁控濺射

磁控濺射圖一

磁控濺射

磁控濺射圖二

磁控濺射

磁控濺射圖三

磁控濺射

磁控濺射圖四

在運動過程中不斷的與氬原子發生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材,經過多次碰撞后電子的能量逐漸降低,擺脫磁力線的束縛,遠離靶材,最終沉積在基片上。 磁控濺射就是以磁場束縛和延長電子的運動路徑,改變電子的運動方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。電子的歸宿不僅僅是基片,真空室內壁及靶源陽極也是電子歸宿。但一般基片與真空室及陽極在同一電勢。磁場與電場的交互作用( E X B drift)使單個電子軌跡呈三維螺旋狀,而不是僅僅在靶面圓周運動。至于靶面圓周型的濺射輪廓,那是靶源磁場磁力線呈圓周形狀分布。磁力線分布方向不同會對成膜有很大關系。 在E X B shift機理下工作的除磁控濺射外,還有多弧鍍靶源,離子源,等離子源等都在此原理下工作。所不同的是電場方向,電壓電流大小等因素。

耀達發生產的磁控濺射主要用于濺射金屬,電極,多用于實驗室,大學科研所機構使用。具體精度高,掩膜版圖形多樣,制備效率高的特點。

1.我們可以單獨的為客戶提供薄片掩膜版加工,也可以一并提供相應的制備樣品的的工具,托盤,即為磁控濺射

2.我們也可以整體為客戶設計和客戶設備相配套的磁控濺射樣品托盤+精密掩膜版的一整套產品。這種情況一般由以下部件組成

a:右邊為底部掩膜版+樣品托盤,此圖片的掩膜版和樣品托盤已固定在一起,形成一個個小坑,坑的尺寸即是樣品的尺寸,一般這個方坑的尺寸要略大于樣品的尺寸,以便利于放置。

磁控濺射

磁控濺射圖五

磁控濺射

磁控濺射圖六

 

b :左邊為蓋板,使用時可以作為固定樣品的作用,通過定位柱嚴密咬合達到固定樣品,方便取樣的過程 。

磁控濺射的基本原理是利用 Ar一O2混合氣體中的等離子體在電場和交變磁場的作用下,被加速的高能粒子轟擊靶材表面,能量交換后,靶材表面的原子脫離原晶格而逸出,轉移到基體表面而成膜。
磁控濺射的特點是成膜速率高,基片溫度低,膜的粘附性好,可實現大面積鍍膜。該技術可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法。
磁控濺射(magnetron-sputtering)是70年代迅速發展起來的一種“高速低溫濺射技術”。磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁場。當濺射產生的二次電子在陰極位降區內被加速為高能電子后,并不直接飛向陽極,而是在正交電磁場作用下作來回振蕩的近似擺線的運動。高能電子不斷與氣體分子發生碰撞并向后者轉移能量,使之電離而本身變成低能電子。這些低能電子最終沿磁力線漂移到陰極附近的輔助陽極而被吸收,避免高能電子對極板的強烈轟擊,消除了二極濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷,體現出磁控濺射中極板“低溫”的特點。由于外加磁場的存在,電子的復雜運動增加了電離率,實現了高速濺射。磁控濺射的技術特點是要在陰極靶面附件產生與電場方向垂直的磁場,一般采用永久磁鐵實現。
材料性能
如果靶材是磁性材料,磁力線被靶材屏蔽,磁力線難以穿透靶材在靶材表面上方形成磁場,磁控的作用將大大降低。因此,濺射磁性材料時,一方面要求磁控靶的磁場要強一些,另一方面靶材也要制備的薄一些,以便磁力線能穿過靶材,在靶面上方產生磁控作用。
磁控濺射設備一般根據所采用的電源的不同又可分為直流濺射和射頻濺射兩種。直流磁控濺射的特點是在陽極基片和陰極靶之間加一個直流電壓,陽離子在電場的作用下轟擊靶材,它的濺射速率一般都比較大。但是直流濺射一般只能用于金屬靶材,因為如果是絕緣體靶材,則由于陽粒子在靶表面積累,造成所謂的“靶中毒”,濺射率越來越低。

磁控濺射加工產品詳細介紹

產品名稱

磁控濺射

主要用途

磁控濺射主要用于磁控濺射樣品固定或托盤類的治具,起到固定磁控濺射樣品的作用

客戶對本產品的蝕刻加工要求

材料厚度適中,MASK圖形均勻,無毛剌,無卷邊,圖形可能會涉及到復雜加工并配合機加工,焊接等工序來完成

產品使用材質

SUS304H或SUS316

材質材料的厚度mm

0.02mm,0.03mm,0.05MM,0.06MM,0.08MM,0.1MM,0.12MM,0.15MM,0.2MM,0.25MM等,不同厚度可以加工不同的孔徑。

本產品加工蝕刻管控精度及能力

最高可管控+/-0.01mm,一般客戶要求為+/-0.05MM,特別厚的材料雙方方共同確認

本廠針對此產品蝕刻加工能力

批量化生產。針對小批量多樣化的定制型產品,也可以積極應對并快速反應,節省我們的作業成本的同時,回饋給客戶更快,更好服務,節約趕時間成本及產品成本。我們最大的可加工的長度達到1000mm,具體參數客戶可以將設計圖發至郵箱:ly@sz-ydf.com以便雙方及時溝通確認。

針對批量生產時間

批量化生產加工周期一般控制在5-15天,特殊的情況下,如產品交期特別緊張的可以提前和我們商量確認。我們會調用本廠資源去積極的對應并幫助客戶完成緊急狀態下的交貨時間。總之:一切為了客戶,保證批量交貨時間。

本產品定價評估規則

總體上一個產品的定價是多方面因素綜合判定的。最主要的蝕刻加工工藝主要依材料材質,蝕刻材料的厚度,產品的管控要求精度及加工批量數量綜合評估價格。我們始終認為,評估一個產品的價格,不論是樣品還是批量的產品,最為理想狀態是提供圖紙或含有尺寸的樣件來參考,這樣的評估價更準確,也是對客戶負責任一種方式,準確的評估價格對客戶也是一種尊重,圖紙請發送至郵箱:ly@sz-ydf.com

本產品樣品提供方式

磁控濺射申請免費。正常情況下下,我們的樣品均是需要收取樣品費用的。主要原因在于收取最基本的模版費及蝕刻加工過程中的人工,水電,及廠租。蝕刻工藝本身由于反應時間快,相對的成本較低,已經為相關的設計制造節省了很大的費用。每個月高達上百種的新品需要打樣,成本壓力巨大。本著共贏互利的精神,絕大部份的客戶在溝通中也表示理解。

本產品檢驗方式及檢測工具

平面檢測。使用影像儀(二次元),配合卡尺,高度計,深度計等工具

蝕刻加工特殊要求

有要依據客戶的圖紙進行管控,圖形孔徑均勻。

售后

售后服務電話:135 3425 7051,售后投訴郵箱:ly@sz-ydf.com。我們是專業的**工廠,對所有我司的產品售后負責。不論是服務態度,還是產品質量,甚至前置的關于產品設計溝通,業務員的服務質量等,均可以直接溝通。本廠有專業的品控團隊,快速的反應機制,針對客戶的投訴,24小時內回復。48小時內提出改善對策,最快三天內完成改善品發貨

如何才能保證磁控濺射產品的品質

一、我的客戶需要什么?我如何幫助客戶實現?

首要的問題我們始終站在客戶的角度考慮問題。因為我們是蒸鍍掩膜鋼網行業的資深人員,了解客戶想的是什么,他的產品由我們的加工能否解決客戶問題 ?客戶設計初步階段如何幫助客戶去規避一些生產風險?這都 是作為一個服務型工廠必須考慮到的問題。耀達發精密五金擁有自己的工程團隊,擁有資深的工程設計人員,可以將客戶的需求轉化的初步設計的考量,不僅幫助客戶實現產品的設計,還要達到客戶使用產品的功能。

資深工程

二、對客戶來說,耀達發精密與別人相比獨特的專長是什么?

我們是專業的蝕刻加工團隊,深耕蝕刻行業多年。我們的專長就是可以利用我的優秀的資源,對一些超精密的產品進行獨一無二的設計。利用我們的靈活性,專門配備的樣品攻關,批量攻關團隊,為客戶的產品進行量身打造,無論是時間周期還是管控精度,我們都可以隨時對應。針對客戶的急件,甚至可以24小時內完成,以解客戶的燃眉之急。

質量管控

三、耀達發精密五金能給客戶的公司增加多大的價值?

價值取決于提供的服務是否精準。耀達發密五金針對客戶的產品設計制造過程中,采用量化的標準,利用合理的利潤空間的同時,幫助客戶實現設計初衷。只有客戶的設計能完美的實現并優于現有市場上的同類產品,才能為客戶的產品最終贏得市場打下堅實的基礎。實際上,作為下游的加工企業,服務客戶等于幫助客戶,服務客戶等于幫助客戶解決問題。解決現實問題,即幫助客戶實現更大價值。在激烈的競爭中,企業必須調整和營造自身的能力,使企業的經營理念、能力、過程及組織結構與顧客感知價值因素相適應,在每一次顧客接觸過程中,創造并傳遞顧客所需要的價值。只有不斷地為顧客創造競爭對手所無法提供的價值,才能和顧客建立良好的客戶關系,企業才能不斷的發展壯大。企業在提供產品或服務后,要協助顧客達到使用產品或服務的目的,去幫助顧客在市場上取得成功。這種基于“雙贏”的伙伴型關系策略很快會使企業在激烈的競爭中脫穎而出,與顧客建立起良好穩定的客戶關系。

實現價值

四、耀達發精密五金提供的什么服務是獨一無二的?

相完備的體系認證,友好的環境要求。堅持環保理念辦工廠!我們的污水廢水均為處理后達標排放,生產產生的酸性廢氣經過處理后抽送,不會對大氣產生污染。因為蝕刻行業采用的是化學藥水的方式進行加工,會產生一些廢渣,重金屬。針對此問題,我們也聯合工業園及環保監控方,由專門的處理公司進行無害化妥善的處理。我們有專業的檢測設備,保證客戶的產品符合設計要求。

把份內的服務做精

份內服務就是意料之內、情理之中的服務,也是我們本應該做好的服務,是客戶有需求我們也能提供的服務,占據了我們日常工作的絕大部分。如日常的蝕刻業務處理、產品營銷、客戶接待等。正是由于這些工作的日常性和重復性,我們可能會忽略掉其中應該注意的某些細節,有時由于處理不當還會導致客戶的不滿甚至投訴。

1.發自內心尊重和關注客戶,迅速響應客戶磁控濺射的需求

所有為客戶提供服務的工作人員都要樹立全面正確科學的服務觀,真正將客戶作為上帝,尊重客戶的選擇和隱私,關注客戶的感受,換位思考,站在客戶立場為客戶辦理業務、解決困難。對于客戶在服務工作和業務辦理中提出的各種訴求積極響應,迅速行動;多方面尋求幫助,讓客戶感到賓至如歸。

2.注意每一個金屬蝕刻加工的細節

細節決定成敗。蝕刻的工作中要特別注意細節。在日常工作中,從著裝、儀表到文明用語的使用等都從細處反映了我們的職業化水平,一個微笑、一個手勢、一個問候都能讓客戶感到溫馨;能夠為客戶提供“一站式”,整體方案的提出服務,做到客戶有人問、我們有回應,更是從細處體現了我們的專業化水準,這些是我們細化服務的基礎性工作。

3.提供優良的服務環境、便利的服務措施

現在的客戶越來越重視服務環境和溝通的便捷性。我們要注重內外部環境建設,加大對網站的細節圖片的處理,優化,為客戶提供更溫馨舒適的網絡產品瀏覽環境。還需注意為特殊客戶(如新品開發)提供相應的特殊便利條件。

團隊協作

強調服務、關注客戶的時代,因為服務是營銷的基礎,是連接產品和市場的真正橋梁和紐帶,一家精密蝕刻加工廠的口碑正是植根于它所提供的服務品質。卓越的服務品質不僅是市場經濟發展對蒸鍍掩膜鋼網提出的具體要求,也正逐漸成為一家金屬蝕刻加工核心競爭力的重要內容之一,在很大程度上影響著其未來的盈利能力

 耀達發精密是一家專業通過蝕刻加工,CNC精密加工以及沖壓等方式配合提供磁控濺射掩膜加工的工廠,為您提供磁控濺射原理,磁控濺射掩膜及磁控濺射托盤定制服務

深圳市耀達發精密科技有限公司

地址:深圳市寶安區福永街道塘尾和沙路富民工業區B5棟1樓(總部)

直線:劉先生135 3425 7051(同微信) 郵箱:ly@sz-ydf.com

QQ劉先生:252292527;阿里旺旺-劉先生 :xieliuliu 

公司網址:www.cnmszj.cn

生產線地址:深圳市寶安區西鄉街道金德路2號草圍第二工業區雙聯精密J棟2樓(分部)

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