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光刻工藝

文章出處:本站  責(zé)任編輯:Editor  人氣:1024  發(fā)表時(shí)間:2019-1-4 10:11:02  【

        光刻技術(shù)是指在光照作用下,借助光致抗蝕劑(又名光刻膠)將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上的技術(shù)。其主要過(guò)程為:首先紫外光通過(guò)掩膜版照射到附有一層光刻膠薄膜的基片表面,引起曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng);再通過(guò)顯影技術(shù)溶解去除曝光區(qū)域或未曝光區(qū)域的光刻膠(前者稱(chēng)正性光刻膠,后者稱(chēng)負(fù)性光刻膠),使掩膜版上的圖形被復(fù)制到光刻膠薄膜上;最后利用刻蝕技術(shù)將圖形轉(zhuǎn)移到基片上。

工藝流程:

      常規(guī)光刻技術(shù)是采用波長(zhǎng)為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗蝕劑為中間媒介實(shí)現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理,最終把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質(zhì)層上的一種工藝。在廣義上,它包括光復(fù)印和刻蝕工藝兩個(gè)主要方面。
     ①光復(fù)印工藝:經(jīng)曝光系統(tǒng)將預(yù)制在掩模版上的器件或電路圖形按所要求的位置,精確傳遞到預(yù)涂在晶片表面或介質(zhì)層上的光致抗蝕劑薄層上。
     ②刻蝕工藝:利用化學(xué)或物理方法,將抗蝕劑薄層未掩蔽的晶片表面或介質(zhì)層除去,從而在晶片表面或介質(zhì)層上獲得與抗蝕劑薄層圖形完全一致的圖形。集成電路各功能層是立體重疊的,因而光刻工藝總是多次反復(fù)進(jìn)行。例如,大規(guī)模集成電路要經(jīng)            過(guò)約10 次光刻才能完成各層圖形的全部傳遞。
曝光方式
常用的曝光方式分類(lèi)如下:
接觸式曝光和非接觸式曝光的區(qū)別,在于曝光時(shí)掩模與晶片間相對(duì)關(guān)系是貼緊還是分開(kāi)。接觸式曝光具有分辨率高、復(fù)印面積大、復(fù)印精度好、曝光設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便和生產(chǎn)效率高等特點(diǎn)。但容易損傷和沾污掩模版和晶片上的感光膠涂層,影響成品率和掩模版壽命,對(duì)準(zhǔn)精度的提高也受到較多的限制。一般認(rèn)為,接觸式曝光只適于分立元件和中、小規(guī)模集成電路的生產(chǎn)。
非接觸式曝光主要指投影曝光。在投影曝光系統(tǒng)中,掩膜圖形經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)成像在感光層上,掩模與晶片上的感光膠層不接觸,不會(huì)引起損傷和沾污,成品率較高,對(duì)準(zhǔn)精度也高,能滿(mǎn)足高集成度器件和電路生產(chǎn)的要求。但投影曝光設(shè)備復(fù)雜,技術(shù)難度高,因而不適于低檔產(chǎn)品的生產(chǎn)。現(xiàn)代應(yīng)用最廣的是 1:1倍的全反射掃描曝光系統(tǒng)和x:1倍的在硅片上直接分步重復(fù)曝光系統(tǒng)。
介紹
直接分步重復(fù)曝光系統(tǒng) (DSW)  超大規(guī)模集成電路需要有高分辨率、高套刻精度和大直徑晶片加工。直接分步重復(fù)曝光系統(tǒng)是為適應(yīng)這些相互制約的要求而發(fā)展起來(lái)的光學(xué)曝光系統(tǒng)。主要技術(shù)特點(diǎn)是:
①采用像面分割原理,以覆蓋最大芯片面積的單次曝光區(qū)作為最小成像單元,從而為獲得高分辨率的光學(xué)系統(tǒng)創(chuàng)造條件。
②采用精密的定位控制技術(shù)和自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)進(jìn)行重復(fù)曝光,以組合方式實(shí)現(xiàn)大面積圖像傳遞,從而滿(mǎn)足晶片直徑不斷增大的實(shí)際要求。
③縮短圖像傳遞鏈,減少工藝上造成的缺陷和誤差,可獲得很高的成品率。
④采用精密自動(dòng)調(diào)焦技術(shù),避免高溫工藝引起的晶片變形對(duì)成像質(zhì)量的影響。
⑤采用原版自動(dòng)選擇機(jī)構(gòu)(版庫(kù)),不但有利于成品率的提高,而且成為能靈活生產(chǎn)多電路組合的常規(guī)曝光系統(tǒng)。
這種系統(tǒng)屬于精密復(fù)雜的光、機(jī)、電綜合系統(tǒng)。它在光學(xué)系統(tǒng)上分為兩類(lèi)。一類(lèi)是全折射式成像系統(tǒng),多采用1/5~1/10的縮小倍率,技術(shù)較成熟;一類(lèi)是1:1倍的折射-反射系統(tǒng),光路簡(jiǎn)單,對(duì)使用條件要求較低。
光抗蝕劑編輯
光致抗蝕劑,簡(jiǎn)稱(chēng)光刻膠或抗蝕劑,指光照后能改變抗蝕能力的高分子化合物。光蝕劑分為兩大類(lèi)。
①正性光致抗蝕劑:受光照部分發(fā)生降解反應(yīng)而能為顯影液所溶解。留下的非曝光部分的圖形與掩模版一致。正性抗蝕劑具有分辨率高、對(duì)駐波效應(yīng)不敏感、曝光容限大、針孔密度低和無(wú)毒性等優(yōu)點(diǎn),適合于高集成度器件的生產(chǎn)。
②負(fù)性光致抗蝕劑:受光照部分產(chǎn)生交鏈反應(yīng)而成為不溶物,非曝光部分被顯影液溶解,獲得的圖形與掩模版圖形互補(bǔ)。負(fù)性抗蝕劑的附著力強(qiáng)、靈敏度高、顯影條件要求不嚴(yán),適于低集成度的器件的生產(chǎn)。
半導(dǎo)體器件和集成電路對(duì)光刻曝光技術(shù)提出了越來(lái)越高的要求,在單位面積上要求完善傳遞圖像的信息量已接近常規(guī)光學(xué)的極限。光刻曝光的常用波長(zhǎng)是3650~4358 埃,預(yù)計(jì)實(shí)用分辨率約為1微米。
幾何光學(xué)的原理,允許將波長(zhǎng)向下延伸至約2000埃的遠(yuǎn)紫外波長(zhǎng),此時(shí)可達(dá)到的實(shí)用分辨率約為0.5~0.7微米。微米級(jí)圖形的光復(fù)印技術(shù)除要求先進(jìn)的曝光系統(tǒng)外,對(duì)抗蝕劑的特性、成膜技術(shù)、顯影技術(shù)、超凈環(huán)境控制技術(shù)、刻蝕技術(shù)、硅片平整度、變形控制技術(shù)等也有極高的要求。因此,工藝過(guò)程的自動(dòng)化和數(shù)學(xué)模型化是兩個(gè)重要的研究方向。
基本步驟編輯
1.氣相成底模
2.旋轉(zhuǎn)烘膠
3.軟烘
4.對(duì)準(zhǔn)和曝光
5.曝光后烘焙(PEB)
6.顯影
7.堅(jiān)膜烘焙
8.顯影檢查

如何才能保證光刻產(chǎn)品的品質(zhì)

一、我的客戶(hù)需要什么?我如何幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)?

首要的問(wèn)題我們始終站在客戶(hù)的角度考慮問(wèn)題。因?yàn)槲覀兪?/span>光刻行業(yè)的資深人員,了解客戶(hù)想的是什么,他的產(chǎn)品由我們的加工能否解決客戶(hù)問(wèn)題 ?客戶(hù)設(shè)計(jì)初步階段如何幫助客戶(hù)去規(guī)避一些生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)?這都 是作為一個(gè)服務(wù)型工廠必須考慮到的問(wèn)題。耀達(dá)發(fā)精密五金擁有自己的工程團(tuán)隊(duì),擁有資深的工程設(shè)計(jì)人員,可以將客戶(hù)的需求轉(zhuǎn)化的初步設(shè)計(jì)的考量,不僅幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的設(shè)計(jì),還要達(dá)到客戶(hù)使用產(chǎn)品的功能。

資深工程

二、對(duì)客戶(hù)來(lái)說(shuō),耀達(dá)發(fā)精密與別人相比獨(dú)特的專(zhuān)長(zhǎng)是什么?

我們是專(zhuān)業(yè)的蝕刻加工團(tuán)隊(duì),深耕蝕刻行業(yè)多年。我們的專(zhuān)長(zhǎng)就是可以利用我的優(yōu)秀的資源,對(duì)一些超精密的產(chǎn)品進(jìn)行獨(dú)一無(wú)二的設(shè)計(jì)。利用我們的靈活性,專(zhuān)門(mén)配備的樣品攻關(guān),批量攻關(guān)團(tuán)隊(duì),為客戶(hù)的產(chǎn)品進(jìn)行量身打造,無(wú)論是時(shí)間周期還是管控精度,我們都可以隨時(shí)對(duì)應(yīng)。針對(duì)客戶(hù)的急件,甚至可以24小時(shí)內(nèi)完成,以解客戶(hù)的燃眉之急。

團(tuán)隊(duì)協(xié)作

三、耀達(dá)發(fā)精密能給客戶(hù)的公司增加多大的價(jià)值?

價(jià)值取決于提供的服務(wù)是否精準(zhǔn)。耀達(dá)發(fā)精密五金針對(duì)客戶(hù)的產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造過(guò)程中,采用量化的標(biāo)準(zhǔn),利用合理的利潤(rùn)空間的同時(shí),幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)初衷。只有客戶(hù)的設(shè)計(jì)能完美的實(shí)現(xiàn)并優(yōu)于現(xiàn)有市場(chǎng)上的同類(lèi)產(chǎn)品,才能為客戶(hù)的產(chǎn)品最終贏得市場(chǎng)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。實(shí)際上,作為下游的加工企業(yè),服務(wù)客戶(hù)等于幫助客戶(hù),服務(wù)客戶(hù)等于幫助客戶(hù)解決問(wèn)題。解決現(xiàn)實(shí)問(wèn)題,即幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)更大價(jià)值。

實(shí)現(xiàn)價(jià)值

四、耀達(dá)發(fā)精密提供的什么服務(wù)是獨(dú)一無(wú)二的?

相完備的體系認(rèn)證,友好的環(huán)境要求。堅(jiān)持環(huán)保理念辦工廠!我們的污水廢水均為處理后達(dá)標(biāo)排放,生產(chǎn)產(chǎn)生的酸性廢氣經(jīng)過(guò)處理后抽送,不會(huì)對(duì)大氣產(chǎn)生污染。因?yàn)槲g刻行業(yè)采用的是化學(xué)藥水的方式進(jìn)行加工,會(huì)產(chǎn)生一些廢渣,重金屬。針對(duì)此問(wèn)題,我們也聯(lián)合工業(yè)園及環(huán)保監(jiān)控方,由專(zhuān)門(mén)的處理公司進(jìn)行無(wú)害化妥善的處理。我們有專(zhuān)業(yè)的檢測(cè)設(shè)備,保證客戶(hù)的產(chǎn)品符合設(shè)計(jì)要求。

質(zhì)量管控

強(qiáng)調(diào)服務(wù)、關(guān)注客戶(hù)的時(shí)代,因?yàn)榉?wù)是營(yíng)銷(xiāo)的基礎(chǔ),是連接產(chǎn)品和市場(chǎng)的真正橋梁和紐帶,一家精密蝕刻加工廠的口碑正是植根于它所提供的服務(wù)品質(zhì)。卓越的服務(wù)品質(zhì)不僅是市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)發(fā)展對(duì)光刻提出的具體要求,也正逐漸成為一家金屬蝕刻加工核心競(jìng)爭(zhēng)力的重要內(nèi)容之一,在很大程度上影響著其未來(lái)的盈利能力。

一、把份內(nèi)的服務(wù)做精

份內(nèi)服務(wù)就是意料之內(nèi)、情理之中的服務(wù),也是我們本應(yīng)該做好的服務(wù),是客戶(hù)有需求我們也能提供的服務(wù),占據(jù)了我們?nèi)粘9ぷ鞯慕^大部分。如日常的蝕刻業(yè)務(wù)處理、產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)、客戶(hù)接待等。正是由于這些工作的日常性和重復(fù)性,我們可能會(huì)忽略掉其中應(yīng)該注意的某些細(xì)節(jié),有時(shí)由于處理不當(dāng)還會(huì)導(dǎo)致客戶(hù)的不滿(mǎn)甚至投訴。

1.發(fā)自?xún)?nèi)心尊重和關(guān)注客戶(hù),迅速響應(yīng)客戶(hù)微孔過(guò)濾網(wǎng)的需求

所有為客戶(hù)提供服務(wù)的工作人員都要樹(shù)立全面正確科學(xué)的服務(wù)觀,真正將客戶(hù)作為上帝,尊重客戶(hù)的選擇和隱私,關(guān)注客戶(hù)的感受,換位思考,站在客戶(hù)立場(chǎng)為客戶(hù)辦理業(yè)務(wù)、解決困難。對(duì)于客戶(hù)在服務(wù)工作和業(yè)務(wù)辦理中提出的各種訴求積極響應(yīng),迅速行動(dòng);多方面尋求幫助,讓客戶(hù)感到賓至如歸。

2.注意每一個(gè)金屬蝕刻加工的細(xì)節(jié)

細(xì)節(jié)決定成敗。蝕刻的工作中要特別注意細(xì)節(jié)。在日常工作中,從著裝、儀表到文明用語(yǔ)的使用等都從細(xì)處反映了我們的職業(yè)化水平,一個(gè)微笑、一個(gè)手勢(shì)、一個(gè)問(wèn)候都能讓客戶(hù)感到溫馨;能夠?yàn)榭蛻?hù)提供“一站式”,整體方案的提出服務(wù),做到客戶(hù)有人問(wèn)、我們有回應(yīng),更是從細(xì)處體現(xiàn)了我們的專(zhuān)業(yè)化水準(zhǔn),這些是我們細(xì)化服務(wù)的基礎(chǔ)性工作。

3.提供優(yōu)良的服務(wù)環(huán)境、便利的服務(wù)措施

現(xiàn)在的客戶(hù)越來(lái)越重視服務(wù)環(huán)境和溝通的便捷性。我們要注重內(nèi)外部環(huán)境建設(shè),加大對(duì)網(wǎng)站的細(xì)節(jié)圖片的處理,優(yōu)化,為客戶(hù)提供更溫馨舒適的網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)品瀏覽環(huán)境。還需注意為特殊客戶(hù)(如新品開(kāi)發(fā))提供相應(yīng)的特殊便利條件。

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